能量色散光譜儀定量分析條件的選擇與波長(zhǎng)色散光譜儀定量分析條件的選擇相比較，相對(duì)于所用儀器來說要簡(jiǎn)單一些，但能量色散光譜儀種類繁多，如有用二次靶的，也有用偏振光的，它們各有特色，因此應(yīng)在熟悉所用儀器性能的條件下，就其特性選擇適合的分析條件，以滿足分析要求。它的條件選擇主要有提供給X射線管的管壓和管電流、譜線、濾光片的選擇和測(cè)定時(shí)間。

譜線有Ka、Kb、Lb、La和Ma.可供選擇，通常原子序數(shù)小于42的元素用K系線，大于42的元素用L系線，有時(shí)亦可選M系線。為了便于獲取待測(cè)元素的凈強(qiáng)度，對(duì)使用Si-PIN和Si(Li)探測(cè)器的譜儀，在解譜時(shí)不僅考慮待測(cè)元素，還應(yīng)考慮與待測(cè)元素譜相近的基體中其他元素，特別是重元素L和M系線的干擾。對(duì)于低分辨率譜儀如使用封閉式正比計(jì)數(shù)管的譜儀，通常測(cè)定純?cè)刈V，并以譜的半高寬左右兩側(cè)的能量作為感興趣區(qū)的起點(diǎn)和終點(diǎn)。

熒光分析X射線管管壓和管電流的選擇原則與在波長(zhǎng)色散光譜儀中的不同，所用管壓通常比待測(cè)元素的激發(fā)電位高3～5kev,而在波長(zhǎng)色散光譜儀中要比激發(fā)電位大4～10倍，同時(shí)管電流一般均較小，它受能量色散光譜儀所允許的Z大計(jì)數(shù)率(5～30kcps)的限制?；诖耍暣治鲈貙?duì)象不僅要設(shè)置不同的管壓和管電流，還要與濾光片結(jié)合起來考慮，其原則是保證所測(cè)元素獲得Z大強(qiáng)度。如用Si-PIN探測(cè)器的譜儀，以Rh靶作為激發(fā)光源，分析水泥中鎂、鋁、硅、硫和鉀時(shí)，選擇4kv,0.6mA,其目的是使高含量鈣不被激發(fā)，而測(cè)鈣、鈦和鐵時(shí)，選擇13kv,0.lmA，并選用200pm鋁作濾光片，除去X射線管發(fā)射的RHL_線，以便降低鋁、硅等元素的X射線熒光強(qiáng)度，從而提高鈣和鐵等元素的X射線熒光強(qiáng)度。選擇二次靶和偏振光也是為了進(jìn)行有選擇的激發(fā)，并降低背景。對(duì)于封閉式正比計(jì)數(shù)管為探測(cè)器的低分辨率光譜儀，管壓和管流選擇也是很重要的，如測(cè)定水泥原材料，用Cu靶，3盧um厚的Sn濾光片，測(cè)Si,A1,S時(shí)也用4kv,0.6mA,而測(cè)Ca和Fe時(shí)則用10kv,0.06mA.