衍射儀是進(jìn)行X射線分析的重要設(shè)備，主要由X射線發(fā)生器、測(cè)角儀、記錄儀和水冷卻系統(tǒng)組成。新型的衍射儀還帶有條件輸入和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。

X射線發(fā)生器由高壓變壓器及管流管壓控制單元、結(jié)構(gòu)分析X射線管、熱交換器。 

產(chǎn)生高穩(wěn)定的高壓加到X射線管上用以產(chǎn)生X射線。這里利用高電壓加速的高速電子轟擊X射線管金屬靶面產(chǎn)生X射線的原理。

樣品進(jìn)給器，是樣品進(jìn)入真空系統(tǒng)的一個(gè)過(guò)渡。因?yàn)闊晒釾射線在空氣中會(huì)被衰減，所以樣品分析需要在真空環(huán)境下進(jìn)行。這樣，試樣就需要從大氣狀態(tài)進(jìn)入真空環(huán)境。 X射線管的實(shí)質(zhì)是個(gè)真空二極管，其陰極是鎢絲，陽(yáng)極為金屬片。在陰極兩端加上電流之后，鎢絲發(fā)熱，產(chǎn)生熱輻射電子。這些電子在高壓電場(chǎng)作用下被加速，轟擊陽(yáng)極（又稱靶），產(chǎn)生X射線（此過(guò)程產(chǎn)生大量熱量，為了保護(hù)靶材，須確保循環(huán)水系統(tǒng)工作正常）。

樣品室連接樣品進(jìn)給器和分析室，與二者一起組成真空腔。樣品在樣品室里完成樣品的升舉、下降、樣品交換和自旋。

濾片的作用是消除可能提高背景或?qū)δ承┰禺a(chǎn)生迭譜干擾的特征譜線，從而提高對(duì)這些元素分析的靈敏度。濾波片采用K吸收緣介于元素的Kα和Kβ的波長(zhǎng)之間的材料制成。 

由于來(lái)自X光管的X射線不僅照射到分析樣品上，也會(huì)照射到樣品盒及樣品罩上。而產(chǎn)生來(lái)自樣品盒或罩上的不需要的熒光射線，從而影響分析精度，因此使用了光闌系統(tǒng)來(lái)保證只允許來(lái)自分析樣品的熒光X射線進(jìn)入計(jì)數(shù)器。

來(lái)自樣品的熒光X射線和散射線都不是單一方向的，入射狹縫裝在樣品和分光晶體之間，它只允許指向分光晶體方向的熒光X射線通過(guò)，而吸收其它方向的射線，從而提高了光譜分辨率。